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Phénomènes de pulvérisation et de distribution en profondeur. Partie IV. Pulvérisation cathodique des oxydes Nb2O5, Ta2O5 et WO3

L. Q. Nghi, Roger Kelly
DOI: 10.1139/p70-019
Canadian Journal of Physics

Data up to Jan 2025

Published1970
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PhysicsChemistryAtomic physicsCrystallographyThermodynamics

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